Атомные процессы на поверхности кристалла

Видео

Аннотация

Представлены результаты исследований структурных процессов, протекающих на поверхности кремния при сублимации, адсорбции, гомо- и гетероэпитаксиальном росте, термическом отжиге и газовых реакциях, полученные с помощью разработанного в ИФП СО РАН уникального диагностического метода — in situ сверхвысоковакуумной отражательной электронной микроскопии.

С помощью этого метода авторами получен ряд принципиально новых результатов таких как:

• открытие существования эффективного заряда адатомов на поверхности кремния;
• обратимый эффект трансформации системы моноатомных ступеней в эшелоны, инициированный электрическим током, нагревающим исследуемый кристалл;
• попарное объединение ступеней под действием постоянного электрического тока на поверхности кремния (001);
• смещение атомных ступеней при поверхностном сверхструктурном переходе;
• эффект кластерирования (группирования) ступеней при поверхностной реконструкции;
• формирование антиэшелонов; аномально высокая плотность адатомов на поверхности кремния (111);
• формирование экстра больших террас (атомарное зеркало);

Определен ряд количественных параметров

• коэффициенты диффузии адатомов и вакансий
• энергии активаций
• коэффициент линейного натяжения ступени
• барьер Швебеля и т. д.
• эффект упорядочения нанокластеров золота на эшелонах ступеней

Визуализированы процессы взаимодействия чистой поверхности кремния с кислородом, и т. д